如影随形

10毫米大直径压电模因快速玻璃出现

发布时间：2025-05-15 16:12编辑：bet356亚洲版本体育浏览（152）

封装的mems镜子。该报纸报道说，上海微型系统与信息技术研究所，中国科学院的研究人员Wu Zhenyu和助理研究员Wang Lahao开发了高性能10mm大型直径的Piameter Piimeter Piimeter PiezoElc链接，与静止稳定性链接，并提供卫星通信与卫星通信端子，并提供卫星通信终端效果，并提供高级表现高级效果。相关研究最近发表在“微系统和纳米工程”上。快速玻璃在梁的方向，捕获和监视卫星激光通信中起着重要作用，并且需要具有一系列极端性能指标，例如高导向精度，高工作带宽和高光学质量。但是，传统的机械玻璃ay存在挑战，例如大尺寸，高电力消耗和磁滞。同时，诸如原始MEMS快速镜之类的问题很小，带宽低，没有集成的角度传感器nEED可以轻松解决。根据先前的研究，研究小组开发了一个10mm大直径的压电驱动器MEMS快速玻璃。该设计采用了双层异源整合技术和粘结级晶圆级别的过程，该设备具有高阶的超高角度，对步进和高重复定位的快速响应。在结构设计方面，研究团队对机械结构进行了创新，以开发集中应力的区域，从而显着优化了光束控制的准确性。就表现的认识而言，研究团队首次表征了10毫米大玻璃直径的动态变形。在准静态驱动器下，最大动态表面变形仅为2纳米，它们满足玻璃类型的卫星激光通信的严格要求。研究小组说，与机械快速和现有商人的传统镜子相比无镜镜，该设备具有重大的好处，并且在航空航天领域具有重要的应用前景。将来，它将继续优化玻璃尺寸研究，闭环控制和设备可靠性。 （江定）相关论文信息：https：//dii.org/10.1038/s41378-025-00935-1